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时间: 2018年10月18日

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高纯氮的用途及应急措施

高纯氮纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在生产中,通常采用黑色钢瓶盛放高纯氮

高纯氮的用途及应急措施

以下是高纯氮的用途及应急措施:

1.高纯氮用途

在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。

2.高纯氮应急措施

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。防止气体在低凹处积聚,遇点火源着火爆炸。用排风机将漏出气送至空旷处。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。用雾状水保持火场中容器冷却。可用雾状水喷淋加速液氮蒸发,但不可使用水枪射至液氮。如吸入高纯氮,感到呼吸困难,给输氧。如呼吸停止,立即进行人工呼吸。就医。